Đối với các ngành công nghiệp công nghệ cao, khí Ni-tơ phải đạt độ tinh khiết tuyệt đối $99.999\%$ (chứa $< 10\text{ ppm}$ Oxy) để không làm hỏng vi mạch hoặc mẫu phân tích.
[toc]
## 1. Nguyên lý tạo khí của hệ thống nitrogen độ tinh khiết cao
Hệ thống kết hợp máy tạo khí PSA tiêu chuẩn với tháp lọc tinh De-Oxo (xử lý hydro) hoặc xúc tác chuyên dụng để triệt tiêu hoàn toàn lượng Oxy dư thừa.
Tham khảo giải pháp tổng thể tại [giải pháp hệ thống nitrogen công nghiệp](https://maynenkhi.asia/giai-phap-he-thong-nitrogen-cong-nghiep/).
